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Unsere Mitglieder

Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik

Wendeschneidplatte mit integrierter Verschleiß- und Temperatursensorik

Das Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik (IST) in Braunschweig bündelt als industrienahes FuE-Dienstleistungszentrum Kompetenzen auf den Gebieten Schichtherstellung und Schichtprozessentwicklung, Schichtanwendung, Schichtcharakterisierung und Oberflächenanalyse. Hauptgeschäftsfelder sind: Maschinenbau und Fahrzeugtechnik; Werkzeuge; Energie, Glas und Fassade; Optik, Information und Kommunikation und Mensch und Umwelt. 80 feste Mitarbeiter bearbeiten auf einer Büro- und Laborfläche von mehr als 4000 qm vielfältige Forschungsaufträge.

Verschleißkalotte nach abrasiver Beanspruchung

Kompetenzen

Mikrostrukturierung von Funktionsschichten

  • Fotolithografie, Plasma- und Ionenätzung
  • Laserdirektschreiben von Strukturen
  • Mikro-Schattenmasken (Stencil-Masks)
  • Mikrostrukturierte Oberflächen (Lotuseffekt)

Mikrotribologie

  • tribologische Schichten für Kleinstbauteile und Mikrosysteme
  • Verschleiß- und Korrosionsfeste Hartstoffschichten
  • anwendungsnahe Charakterisierung auf der Nanometerskala, Nanoscratch
  • Härte und E-Modul Messung an Nano-Schichten

Dünnschichtsensorik zur Messung von

  • Temperatur
  • Verschleiß
  • Position / Abstand
  • Intelligente Schichten: Verschleißfeste Multifunktionsschichten mit integrierten Sensoren
Ranking der Verschleißbeständigkeit verschiedener Schichtsysteme

Beschichtungsanlage (Eigenbau)

Ausstattung

Beschichtungsanlagen

  • ca. 40 Beschichtungsanlagen für Plasma PVD und CVD Prozesse, davon > 10 industrielle Großanlagen
  • Mehrkammer-Reinigungsanlage
  • Galvanik
  • Probenvorbereitungsvorrichtungen (Polieren, Sägen, etc)

Messtechnik

  • Tastschnittgeräte
  • Pin-on-disc Tribometer
  • Flächenverschleißtester (oszillierend)
  • Nano-Verschleißmessung (Hysitron)
  • Bandabrasivverschleißtester
  • Kraft- / Drucksensoren
  • Atomic Force Microscope (AFM)
  • Rasterelektronen-Mikroskop (REM, SEM)
  • Röntgenbeugung (XRD)
  • Elektronenstrahl Mikrosonde (EPMA)
  • Sekundärionenmassenspektroskopie (SIMS)
  • Nanoindentor
  • Ellipsometrie
  • IR-, UV-Spektroskopie

Reinraumausstattung

  • industrielle Sputteranlagen
  • RIE-Anlage
  • Plasmaätzanlage
  • Messtechnik

Gelbraum

  • 2 Maskaligner
  • 3-D Laserdirektschreiber / NdYAG-Laser
  • Belackungseinrichtungen

Gasflusssputterquellen zur Schichtentwicklung

Referenzen

Aktuelle Projekte:

  • SFB 516: Konstruktion und Fertigung aktiver Mikrosysteme (www.sfb516.tu-bs.de)
  • TRANSFORMAT

Abgeschlossene Projekte (Auswahl) :

  • IDEE (Intelligenter Drehmeißel)
  • ISPI (Intelligente Spindeleinheit)

Im Rahmen eines internen Verbundprojektes Osometris wurde der Einfluss der Oberflächenstrukturierung auf das tribologische Verhalten untersucht. Am Fraunhofer IST finden jährlich Tribologie-Workshops mit reger Beteiligung der Industrie durch. Derzeit besitzt das IST ca. 100 Schutzrechte auf unterschiedlichen Gebieten der Oberflächen- und Verfahrenstechnik.