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Unsere Mitglieder

Institut für Mikrotechnik

Das IMT, Alte Salzdahlumer Str. 203

Das 1989 gegründete Institut für Mikrotechnik wird seit 1991 von Prof. Dr. S. Büttgenbach geleitet. Die Forschungsschwerpunkte basieren auf der Silizium- und Quarz-Mikromechanik, der UV-Tiefenlithografie, der Abformtechnik und der Soft-Lithografie. Die Arbeiten am IMT sind auf die anwendungsnahe Entwicklung und Erprobung von mikrotechnischen Komponenten und Systemen sowie die Erarbeitung der dafür erforderlichen Prozesstechnologien zielgerichtet.

Webseite: Institut für Mikrotechnik


Compliant-Strukturen

Kompetenzen

Allgemein

  • Wafervereinzelung
  • Chemische Substratreinigung
  • Fotolithografie
  • Sputter-Beschichtung (Au, Al, Cu, Cr, Pyrex, Al2O3)
  • Schichtstrukturierung durch Ätzen
  • Drahtbonden

4‘‘-Silizium-Bulkmikromechanik

  • Dünnschichtabscheidung von SiO2 und Si3N4 im 4-Stock-Diffusionsofen und mittels PECVD
  • Anisotropes nasschemisches Ätzen
  • ICP- und chemisches Trockenätzen
  • Dotieren mittels Diffusion (p und n)
  • Anodisches Bonden

UV-Tiefenlithografie

  • Erzeugung von mikromechanischen Strukturen aus dem Epoxidharz-Lack SU-8
  • Herstellung von Galvanoformen aus AZ-Lacken

Nasschemische Quarzätztechnik

  • Erzeugung von dünnen Membranen

Mikrogalvanik

  • Herstellung von elektromagnetischen Komponenten aus Kupfer, Nickeleisen und Nickel

Soft-Lithografie

  • Verarbeitung eines 2-Komponenten-Silikongemisches (PDMS) für den Einsatz als Dielektrikum

Nd:YAG-Lasermaterialbearbeitung

  • Mikrostrukturierung von Silizium, Keramik und Metallfolien
  • Selektive Strukturierung dünner Metallschichten

Integrierte CAD-Entwurfsumgebung

  • Maskenoptimierung
  • Ätzsimulation
  • Prozessoptimierung
  • Prozessdatenbank
  • FEM-Strukturanalyse

Messtechnik

  • Beschleunigungsprüfstand
  • Kraft-Weg- und Reibmessstand
  • Optische Analysen
  • Analyse von Materialzusammensetzungen