Unsere Mitglieder
Mikrotechnik
- Biochemisches Analysesystem
Durch eigene Reinraumlabore und hochmoderne Prozesstechnologien bieten wir Ihnen umfassende Kompetenzen im Bereich der Mikrotechnik.
Fraunhofer Institut für Schicht- und Oberflächentechnik
- PVD, PACVD
- 3-D-Laserstrukturierer
- Fotolithographie: Maskaligner, 2D- und 3D-Belackungseinrichtungen
- Ionen- und Plasmaätzanlagen
- Zwölfstufige Reinigungsanlage
Institut für Mikrotechnik
- 300 qm Reinraumlabor
- Maskenherstellung
- Fotolithografie
- UV-Tiefenlithografie
- nasschemische und Trocken-Ätztechnik
- thermische Oxidation von Silizium, p- und n-Dotierung
- CVD und PVD
- Mikrogalvanik (Cu, Ni, NiFe)
Physikalisch-Technische Bundesanstalt
- Lithographie, Strukturierung, Beschichtung
- Mikroerodieranlage
- Nd:YVO4 (355 nm) Laser
- PVD, Belichtungs- und Ätztechnik