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Unsere Mitglieder

Mikrotechnik

Biochemisches Analysesystem

Durch eigene Reinraumlabore und hochmoderne Prozesstechnologien bieten wir Ihnen umfassende Kompetenzen im Bereich der Mikrotechnik.

Fraunhofer Institut für Schicht- und Oberflächentechnik

  • PVD, PACVD
  • 3-D-Laserstrukturierer
  • Fotolithographie: Maskaligner, 2D- und 3D-Belackungseinrichtungen
  • Ionen- und Plasmaätzanlagen
  • Zwölfstufige Reinigungsanlage

Institut für Mikrotechnik

  • 300 qm Reinraumlabor
  • Maskenherstellung
  • Fotolithografie
  • UV-Tiefenlithografie
  • nasschemische und Trocken-Ätztechnik
  • thermische Oxidation von Silizium, p- und n-Dotierung
  • CVD und PVD
  • Mikrogalvanik (Cu, Ni, NiFe)

Physikalisch-Technische Bundesanstalt

  • Lithographie, Strukturierung, Beschichtung
  • Mikroerodieranlage
  • Nd:YVO4 (355 nm) Laser
  • PVD, Belichtungs- und Ätztechnik